耐高温


液体材料気化システム 
MV-2000series / XF-100series
株式会社堀場エステック


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小型・高密度


衝突試験計測用データロガー 
DIS-7000 series
株式会社共和電業


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高電圧


エッチング装置
成膜装置等
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真空


真空チャンバー
搬送装置等
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耐高温


耐熱性250℃MAX、真空隔壁での接続も可能


液体材料気化システム
MV-2000series/画像左
【特長】高効率気化方式により、低温度での安定気化を実現。熱分解しやすい液体材料においても気化性能が向上。

XF-100series/画像右
【特長】差圧センサ方式の採用により、100msecの高速応答を実現。高速化により、流量が安定するまでの時間が短縮され、液体材料の使用量の低減に貢献。
株式会社堀場エステック

コネクタ:標準・室内用Bシリーズ
スペック:温度範囲-55℃~250℃、挿抜回数5,000回
採用理由
特殊な液剤を気化させるために装置内部が高温になりコネクタも耐熱性の高いものが必要だった。


小型高密度


様々な技術・ノウハウの組み合わせで超小型/高密度のコネクタを実現


衝突試験計測用データロガー 
DIS-7000 series
自動車衝突試験時に車載可能な小型衝突試験計測システムで、各種センサ、信号などを測定し,内蔵メモリにデータを集録。
株式会社共和電業

コネクタ:標準・室内用Bシリーズ
スペック:温度範囲-55℃~250℃、挿抜回数5,000回
採用理由
従来のBNCに比べ直径1/2サイズの小型で抜き差しが簡単なプッシュプル構造を備えながら、100G,6msの耐衝撃性能。ワンタッチで素早く簡単・確実な嵌合


高電圧


最大50kVDC対応 豊富なラインナップ


エッチング装置・成膜装置用電源ユニット

コネクタ:高電圧 Sシリーズ
スペック:4kVDC~15kVDC
コネクタ:高電圧 Y シリーズ
スペック:5kVAC~50kVAC、7kVDC~35kVDC
採用理由
バヨネット式コネクタのかん合作業性が良くなく、またシールド固定がクリンプの為ケーブル加工後の品質に個体差が出ていたが、LEMOコネクタはプッシュプル方式でかん合作業性が極めて良く、且つシールドをコネクタ内部の部品で挟み込む構造の為ケーブル加工品としての品質が安定している。


真空


装置内の気密性を保持した状態で嵌合が可能


真空チャンバー内温度計測

コネクタ:標準・室内用Bシリーズ
スペック:リークテスト(He) <10-7mbar.l.s-1
採用理由
真空チャンバー内の温度計測を行うにあたり、多極(10対、20極)を外部と内部でそれぞれ着脱できるようにしたいが、一般的な角形温度計測端子を10個並べるスペースがない、また真空隔壁に設けるフィードスルーが無かった。LEMO気密カプラ―を使うことで3Bサイズ(φ25)で10対の熱電対を一度に着脱できるようになった。